HOME
SITE MAP
English
ȸ»ç¼Ò°³
Àλ縻
¿¬Çõ
ÁÖ¿ä°í°´
¿¬¶ôó/¾àµµ
ÁÖ¿ä»ç¾÷
¼ö¸®
ÆǸÅ
Áß°íÆßÇÁ
EDWARDS
ALCATEL/EBARA
LEYBOLD
Ç°Áú¹æħ
Ç°Áú¹æħ
ÀÚ·á½Ç
°í°´Áö¿ø
Q&A
¿Â¶óÀλó´ã
¹èŨ¼Ò½Ä
»õ¼Ò½Ä
ÀϹݰԽÃÆÇ
ÁÁÀº»ý°¢
°í°´Áö¿ø
Q&A
¿Â¶óÀλó´ã
¢Æ
Home
>
°í°´Áö¿ø
>
Q&A
http://
----------------------------------------------------------------
¢Ñ À±¸¸¼ø´ÔÀÇ ±ÛÀÔ´Ï´Ù.
¾È³çÇϽʴϱî? Ebara A70W ÆßÇÁ¸¦ »ç¿ëÇÏ°íÀִµ¥¿ä ¸î°¡Áö ±Ã±ÝÇÑ°ÍÀÌ ÀÖ¾î Áú¹®À»µå¸³´Ï´Ù. ÃÖ±Ù¿¡ ÀúÈñ°¡ »ç¿ëÁßÀÎ Ebara A70W ÆßÇÁ°¡ MP current high alarm À¸·Î ÀÎÇÏ¿© 1~2°³¿ù ÁÖ±â·Î shutdownµÇ¾î ¸ð ¾÷ü¿¡¼ overhaulÀ» ½Ç½ÃÇÏ¿´´Âµ¥ ±× ¾÷ü¿¡¼ ¾ê±âÇϴ°ÍÀº MP rotor case¿¡ particle ÀÌ ½ÉÇÏ¿© MP rotor¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÖ¾î MP current high alarmÀÌ ¹ß»ý ÇÑ´Ù°í ¸»¾¸À» ÇϽʴϴÙ. ÇÏÁö¸¸, Á¦°¡ ¾Ë±â·Î´Â MP rotor case´Â Ebara¿¡¼ exhaust lineÀ¸·Î ¹èÃâµÇ´Â ºÎºÐÀ¸·Î ¾Ë°íÀÖ½À´Ï´Ù. ±×¸®°í MP current high alarmÀº gearÂÊÀÇ MP rotor¿¡ °£¼·ÀÌ ÀϾ¼ ¹ß»ýÇÑ°ÍÀ¸·Î ¾Ë°íÀÖ½À´Ï´Ù. ¹ÝÀÀ gasµéÀÌ rotor °£¼·À» ÀÏÀ¸Å³¼ö°¡ ÀÖ´ÂÁö¿ä? ÀúÈñ°¡ ¸¹ÀÌ »ç¿ëÇÏ´Â materialÀº AsH3, TMGa, TMAlÀ» ¸¹ÀÌ »ç¿ëÇϴµ¥...FilteringµÇ¾îÁø gasµéÀÌ ÆßÇÁ³»ºÎ¿¡¼ rotor¿¡ damage¸¦ Áشٴ°ÍÀÌ ÀÌÇØ°¡ µÇÁú¾Ê¾Æ ¹®Àǵ帳´Ï´Ù. ÆßÇÁÀÇ partsµéÀº ¸ðµÎ ¾çÈ£ÇÑ »óŶó°íÇÕ´Ï´Ù. ÇöÀç 1~2°³¿ù ÁÖ±â·Î MP current high alarmÀ¸·Î ÀÎÇÏ¿© overhaulÀ» ÁøÇàÇÏ°íÀÖ½À´Ï´Ù. Á¦°¡ À߸ø ÀÌÇØÇÏ°í ÀÖ´Â°Ç ¾Æ´ÑÁö... ÷ºÎ »çÁøÀ» º¸½Ã°í ÀÇ°ßÀ» ÁÖ¼ÌÀ¸¸é ÇÕ´Ï´Ù.
----------------------------------------------------------------
Æйи®»çÀÌÆ®
¿¡µå¿öµåÄÚ¸®¾Æ(ÁÖ)
Çѱ¹Áø°øÇÐȸ
Çѱ¹¹ÝµµÃ¼»ê¾÷Çùȸ
Áø°ø±â¼ú¼¾ÅÍ